粗糙和轮廓测量仪器像散测定法

其测量原理物体表面上被照射着的光b通过物镜成像于位置qx当光点与物镜距离(光轴方向)变到a或者c时，则成像位置也会分别移至px或sx若从处于中间并垂直于光轴的面上来观察其光束，就可发现光束的直径也随之变化也就是可以检测光束直径的变化量来判断成像的位置在物镜后面插入一块只能在y轴方向聚束的柱面透镜y轴方面的成像将往前移至py，qy，sy以后光束便发散由于x轴，y轴方向上成像位置的不同，光束成椭圆状，如图4所示，故光点远离物镜时，则为长轴在y轴上的椭圆;相反，靠近物镜时，则为长轴在x轴上的椭圆，用象限光电探测器(四等分光电二极管)作传感器，光束经光电转换后再放大和计算，可获得与被测表面微小变位量相对应的输出信号，这种方法分辨力可达到纳米级别，但测量范围较小。

轮廓测量仪器工作原理

该仪器工作台采用---的横向气浮道轨和滚动垂直道轨，移动精度高、稳定性好、---；测量、装卡方便、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。该仪器可根据用户的需要对软件进一步开发，更广泛的满足用户的测量形状的要求，并备有多种工装备件，供用户根据自己的要求选择使用。

技术性能：1、测量范围：轴φ1-180mm，套不大于φ200mm，长度不大于220mm。2、示值误差：1%± 0.1u。3、测量精度：不大于0.5u。4、气浮工作台移动精度：动态不大于0.2u/100mm。5、电源：220v，50hz，0.5kw。6、气源压力：0.5-0.8mpa。

电动轮廓仪是通过仪器的触针与被测表面的滑移进行测量的，是接触测量。其主要优点是可以直接测量某些难以测量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某种评定标准读数或是描绘出表面轮廓曲线的形状，且测量速度快、结果---、操作方便。但是被测表面容易被触针划伤，为此应在------接触的前提下尽量减少测量压力。精度---由液压或者气浮导轨等高精密装置完成电动轮廓仪按传感器的工作原理分为电感式、感应式以及压电式多种。仪器由传感器、驱动箱、电器箱等三个基本部件组成。 

德国业纳检测设备

德国业纳检测设备采用的白光共焦技术，非接触式测量，精度高抗干扰能力强。可以对产品的外观，三维形貌进行的扫描，然后再使用分析软件在扫描的三维形貌上面提取所需要的数据。的测量算法可以帮您获取到几乎全部的样品参数，三维轮廓、平整度、粗糙度、高差、缝宽等。---、高分辨率、高稳定性等的性能使其成功的应用于高校、研究机构及企业的研发与生产中。